Alcatel Adixen AD100K vuoto elevato

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Pompa a secco Adixen AD30K, per alto vuoto
Le nuove pompe a secco ad alte prestazioni:
La serie ADH è progettata specificamente per applicazioni solari e
sviluppata per i processi complessi dei settori dei semiconduttori e dei LED,
con una capacità di aspirazione da 600 a 4500 m3/h.

Semiconduttori: elevata capacità di pompaggio di H2
Le prestazioni della serie ADH offrono i seguenti vantaggi per il processo:
-Prestazioni del processo ADL: elevata efficienza di pompaggio dei gas leggeri
consente uno svuotamento più rapido della camera tra le fasi del processo
-Epitassia ed EUV: elevata capacità di aspirazione e portata
La tolleranza soddisfa le specifiche di processo più rigorose.

Pompa a secco Adixen AD30K, per alto vuoto, AD 30 KL
Produttore: Alcatel Adixen
Tipo: AD30K.H
Anno di costruzione: 2008

Adixen AD100K.H
Produttore: Alcatel Adixen
Tipo: AD100K.H
Anno di costruzione: 2008

Pompa per vuoto:
Produttore: AERZEN
Tipo: GM 2000 CM-C
Velocità: 6000 giri/min
Tensione: 200-460 V
Bledpfx Ameikq Tyegsk
Frequenza (olio minerale/olio PFPE): 100 c/s
Capacità di aspirazione massima: 4035 m3/h
Velocità massima: 5920 giri/min
Potenza del motore S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Anno di costruzione: 2008
Peso: 345 kg

Pompa a secco:
Produttore: Adixen
Tipo: BF ADP122
Anno di costruzione: 2008
Potenza 1,5 kW
Capacità di aspirazione massima: 95 m3/h
Pressione di ingresso massima continua: 50 mbar
Sovrapressione massima di scarico: 1200 mbar
Acqua di raffreddamento: 60 l/h
Velocità (pompa): 3000-3600 giri/min
Temperatura di esercizio della pompa: da 5 °C a 40 °C
Flangia di ingresso: DN 50 ISO-KF
Flangia di scarico: DN 40

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