Impianto PVD a sputtering magnetronico

CemeCon CC 800/9 HIPIMS

Offriamo questo impianto usato CemeCon CC 800/9 HIPIMS Magnetron Sputter PVD, anno di costruzione 2006.

Costruttore: CemeCon
Blsdpfx Asx Tt T Refwod
Modello: CC 800/9
Numero di serie: 11176
Anno di costruzione: 2006, aggiornato nel 2013 e 2025
Peso: 3000 kg
Grado di protezione: IP 20
Potenza kVA: 166 kVA
Evaporatori: 6
Tensione: 3×400/N/PE V
Frequenza: 50/60 Hz

CemeCon CC800/9 HIPIMS:
- 6 catodi
- Tutti i catodi DC, 2 anche HIPIMS
- Anodi booster
- 4 gas, di cui 1 infiammabile
- BIAS: DC, MF pulsato o HIPIMS
- 3x riscaldatori
- 2 turbo-pompe
- Tavola a 6 posizioni
- Numerosi target inclusi
- Opzione inclusa per rilevamento BNC di corrente massima (I-Peak), tensione (U) e potenza (P) su catodi HIPIMS + BIAS
- Molti accessori come materiale di carico, ricambi, materiali di consumo
- Nel 07/2023 il sistema di controllo dell’impianto è stato aggiornato all’ultima versione ed è stata effettuata una manutenzione dal costruttore.

Su richiesta, è possibile includere un bundle composto da chiller, impianto di pulizia di precisione per substrati e macchina per lappatura/polishing.

Per domande o ulteriori informazioni, non esitate a contattarci via mail o telefono.

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