Pompa per vuoto a secco

ULVAC Model LR600

Qui offriamo una pompa per vuoto a secco ULVAC.
Pompa per vuoto a secco ULVAC
Soluzione per pompe di processo ad alta affidabilità
Pompa per vuoto a secco
L'approccio unico di ULVAC all'utilizzo del calore latente nel corpo della pompa consente alla serie LR/HR/UR di
offrire prestazioni elevate anche nei processi più rigorosi.
ULVAC ha concentrato i suoi sforzi di progettazione nel mantenere una temperatura elevata e uniformemente distribuita su tutti gli stadi della pompa,
ottimizzando questa famiglia di pompe per applicazioni CVD e di incisione.
Compatibile con il sistema ECO-SHOCK di ULVAC per un ulteriore risparmio energetico.
Caratteristiche
La pompa della serie LR è progettata per camere di carico e processi PVD.
L'esclusivo design in alluminio di ULVAC consente una distribuzione della temperatura molto uniforme in tutto il corpo della pompa:
La pompa della serie ULVAC LR è progettata per applicazioni che richiedono una pompa riscaldata, tubazioni del gas riscaldate e/o tubazioni di scarico riscaldate.
Eccellente capacità di pompaggio dell'elio.
Motore a prova di esplosione per sicurezza e facilità di manutenzione.
Resiste a interruzioni di corrente fino a 500 ms.
I componenti interni sono trattati in modo specifico per garantire un elevato grado di durezza superficiale e un'eccellente resistenza alla corrosione.
Questo previene l'usura delle parti interne della pompa quando esposte a gas corrosivi.
(Serie LR)
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Progettata per gas di processo che producono sottoprodotti in forma di polvere, come ad esempio forni per la crescita di cristalli di silicio.
Pompa di pre-vuoto per pompe turbomolecolari e meccaniche.
Tipo: LR600
Condizioni: nuovo
Fornitura: (vedere immagine)
(Salvo modifiche ed errori nei dati tecnici, le informazioni fornite sono indicative!)
Saremo lieti di rispondere a ulteriori domande telefonicamente.

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