Impianto di sputtering a magnetron

VON ARDENNE VISS 300

Offriamo un impianto di sputtering verticale usato, modello ARDENNE VISS 300.

L'impianto risale al 2002 ed è stato ampliato con una terza camera nel 2016.

L'impianto è dotato di una chiusa e di 3 camere con unità di sputtering a magnetron SSM750RF di Ardenne.
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Inoltre, include 1 generatore Trumpf Hüttinger PFG2500RF.

È presente anche una sorgente di sputtering a doppio magnetron, attualmente non installata, e il relativo sistema di controllo di Astral.

È disponibile un dispositivo di termoregolazione per uno dei due circuiti di raffreddamento, per mantenere una temperatura costante, ad esempio di 38 °C, nonché 2 unità di raffreddamento esterne con scambiatori di calore.

Nelle camere sono stati depositati ossido di zinco (ZnO) e solfuro di zinco (ZnS).

L'impianto è stato utilizzato fino alla fine di maggio 2026 ed è stato spento senza presentare difetti.

L'impianto è stato sottoposto a manutenzione regolare da parte dell'operatore ed è in ottime condizioni.

Prima della consegna, effettueremo la manutenzione di tutte le pompe di pre-vuoto e delle turbine (sostituzione dei cuscinetti).

Su richiesta, è possibile aggiungere un servizio di installazione e messa in funzione in loco.

Se siete interessati all'impianto, saremo lieti di rispondere a qualsiasi ulteriore domanda.

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