Modulo Front-End per wafer da 300 mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Dati della macchina
- Descrizione macchina:
- Modulo Front-End per wafer da 300 mm
- Produttore:
- BROOKS ASYST
- Modello:
- Spartan EFEM Sorter
- Anno di produzione:
- 2010
- Condizione:
- usata
Prezzo e posizione
- Ubicazione:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland
Dettagli dell'offerta
- ID dell'annuncio:
- A207-98077
- N. di riferimento:
- LW43278
- Ultimo aggiornamento:
- il 19.12.2025
Descrizione
Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Condition: Used
Technical Data:
100–240V AC
50/60Hz
10A
General Information:
300 mm EFEM with 3 load ports, cleanroom mini-environment, and integrated wafer transfer robot
This unit is an Equipment Front End Module (EFEM) from the ASYST Spartan series, designed for fully automated handling of 300 mm silicon wafers in semiconductor manufacturing.
It features three load ports, a mini-environment with ULPA air filters, internal lighting, comprehensive safety controls, as well as all necessary interfaces for system integration. Additionally, it is equipped with a fully integrated wafer transfer robot, which removes wafers from the FOUP/cassette load ports, separates them, and hands them off precisely to subsequent process modules.
Itsdox I Ax Sopfx Agpsr
Year of manufacture: 27.12.2010
Includes CD with operation, service, and installation manuals (9701-3060-01 Rev G)
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Venditore
Registrato da: 2014
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